|
| Компактные печи типа VHT разработаны в виде электрически обогреваемых камерных печей с графитовым, молибденовым нагревом или нагревом дисилицидом молибдена. Благодаря изменяющимся концепциям нагрева и многочисленным принадлежностям эти печи дают возможность реализовывать даже технически сложные процессы, необходимые заказчику. В вакуумплотном резервуаре можно проводить процессы термической обработки либо под защитной атмосферой и атмосферой реакционного газа, либо под вакуумом, в зависимости от конструкции до 10-5 мбар. Оснащенные соответствующими устройствами безопасности печи можно использовать для работы с водородом. |
|
|
| Описание временно отсутствует |
|
|
| Сведения временно отсутствуют |
|
|
| Регулятор массового расхода MFC для изменяющегося объема потока и создания газовых смесей (со вторым технологическим газом) |
|
| Регулирование печного давления с настраиваемым клапаном отработанного воздуха (регулирование парциального давления) |
|
| Факел отработанного газа (газо- или электронагреваемый) для дожигания обусловленного процессом отработанного газа |
|
| Водные охладители отработанного газа |
|
| Конденсатоуловители для отделения большого количества связующего вещества |
|
| Двухступенчатый пластинчатый насос с сильфонным клапаном для создания форвакуума и для термической обработки в вакууме до 10-2 мбар |
|
| Насосный стенд с турбомолекулярным насосом с задвижкой для создания форвакуума и термической обработки в вакууме до 10-5 мбар (только для молибденового исполнения), включая электрический датчик давления и форвакуумный насос |
|
| ПК-управление с помощью NCC, соответствующие возможности документации и привязки к компьютерной сети заказчика |
